ОКБМ-ТО     

 
Главная

ОКБМ-ТО

ОКБМ-ТО

Разработка и изготовление вакуумного технологического оборудования 

Фирма создана сотрудниками отдела по разработке вакуумного напылительного оборудования ОКБМ «ПО КВАРЦ» (входило в МЭП СССР).

Коллектив специалистов разработчиков и изготовителей вакуумного технологического оборудования, средств автоматизации и измерения параметров процесса плодотворно работает много лет.

С 1994 по 2008 год коллектив разработал и внедрил «под ключ» 28 единиц нового и модернизированного вакуумного напылительного оборудования различных типов, из них 10 единиц поставлено на экспорт. В том числе изготовлено 10 установок ионно-лучевого осаждения многослойных оптических покрытий трех типов, из них 3 на экспорт.

Изготовленные нами установки реализуют практически все используемые методы осаждения тонких пленок в вакууме: термический, электроннолучевой, ионно-лучевой, плазменно-дуговой, магнетронный (включая ВЧ).

Отличительной особенностью наших разработок является наличие технологических процессов осаждения многослойных покрытий с высокими параметрами, получаемых с помощью специально разработанных для установок систем контроля толщины и скорости осаждения покрытий.

Мы постоянно работаем над улучшением технических характеристик разработанного нами оборудования.

Основными направлениями работы предприятия являются:

  1. Разработка изготовление и внедрение нового вакуумного технологического оборудования.

Наши последние внедренные разработки:

    • 2004г. Разработка установки ионно-лучевого осаждения многослойных оптических покрытий ЛБКЯ443225 002. Поставлено на экспорт три установки, которые эксплуатируется в производстве лазерных приборов на операции осаждения многослойных оптических покрытий в полуавтоматическом режиме работы.

    • 2006г. Разработка установки вакуумного магнетронного напыления УВНМ ЛБКЯ443225005(2шт). Установки внедрены и эксплуатируются в производстве акселерометров АК-15 (напыление Cr,Au на обе стороны кварцевых чувствительных элементов).

    • 2007г. Закончена разработка и изготовление двух образцов установки вакуумного напыления многослойных оптических покрытий УВН ОП. Установки внедрены в производстве лазерных гироскопов (датчиков навигационных систем) в квантовом приборостроении.(ОАО «РПЗ», .

    • 2008г. Завершена разработка и изготовление установки ионно-плазменного напыления УИПН-1 по заказу РГУ им. И.Канта. Установка предназначена для исследований в области нанотехнологий..

    • 2011. Закончена разработка и внедрение в производстве высокоточных оптических датчиков положения поста вакуумного автоматизированного ПОА.

    • 2013 Изготолена и сдана заказчику установка свинцовой пайки УСП. Заканчивается изготовление модернизированных установок УВН ОПМ

  • Модернизация и ремонт имеющегося у предприятий вакуумного технологического оборудования.

В этом направлении выполненные проекты:

  • 2005г. Модернизация системы управления установки вакуумного осаждения УРМ3279068, обеспечивающая осаждение слоев из трех различных металлов с контролем скорости осаждения и толщины слоев. Установка внедрена в производстве ИУП.

  • 2006г. Модернизация установки электронно-лучевого осаждения многослойных оптических покрытий УРМ3279072М. Установка оснащена новой системой автоматического управления и оптическим контролем спектральной характеристики в процессе осаждения.

  • 2008г. Разработана конструкция электроннолучевого испарителя с поворотным трехпозиционным тиглем для модернизации установки «Оратория-9».Проведена модернизация 7 установок .

  • 2008г. Разработана конструкторская документация по заказу ОАО «КВАРЦ» .и внедрены модернизированные установки УВН71П-3, УВН74П-3М.

  • Выпущена партия вибропитателей(15шт) для резистивных испарителей.

  • 2010г. Проведена модернизация установки ПОВС-2М и вакуумной печи ПВС-1 в производстве лазерных гироскопов.

  • 2011г. Проведена модернизация КД и внедрение образца установки УВН74П-3М-01.

  • Разработка технологических процессов осаждения для заказчиков оборудования.

Внедрение разработанного за последние годы оборудования осуществлялось одновременно с разработкой автоматизированных технологических процессов для него. В настоящий момент коллектив сотрудников предприятия занят разработкой и внедрением актуальных промышленных автоматизированных технологических процессов осаждения многослойных покрытий для вновь созданного оборудования. В том числе: 

- осаждение многослойных покрытий различного класса в вакууме.

- термовакуумная обработка изделий квантовой электроники.

Директор - Шрамко Владимир Андреевич