|
 Установка вакуумного напыления ЛБКЯ 443223002 Установка предназначена для нанесения многослойных оптических покрытий методом ионного распыления в вакууме в производстве оптоэлектронных изделий. Установка обеспечивает проведение цикла напыления покрытия в полуавтоматическом и ручном режимах, с контролем толщины напыления по достижению заданной оптической (h=1/4π) толщины или по времени. Основные технические данные и характеристики | Количество подложкодержателей (Ø72мм), на планетарной карусели, штук | 3-4* | | Количество изделий (Ø25мм),загружаемых на подложкодержатель, шт. | 5 | | Предельное остаточное давление не более, Па | 6,7 ·10-5 | | Время достижения давления 1,3 ·10-3 Па в камере не более, мин. | 25 | | Количество ионных источников, для распыления, штук | 1 | | Максимальная мощность испарителя, не менее, Вт | 120 | | Количество мишеней из распыляемых материалов (Ø =200мм), шт., не более, | 2 | | Частота вращения карусели, об/мин | 4…10 | | Диаметр камеры, мм | 540 | | Количество каналов стабилизированного газонапуска с расходом не более 10-6 м3/с, штук | 2 | | Максимальное количество слоев (h=1/4π) оптических покрытий, напыляемых в одном процессе, не более | 50 | | Количество кварцевых датчиков измерения скорости напыления, шт. | 1 | | Количество сменных свидетелей (Ø25мм) в механизме смены свидетелей системы оптического контроля пропускания | 4- 5* | Конструктивные требования. Установка состоит из вакуумного блока и стойки питания и управления. В установке использованы следующие комплектующие зарубежного производства:-шиберный затвор UHV DN(200-250), вводы вращения FRU 040, ионизационный вакуумметр ITR-90, мониторы, контроллеры и периферийные устройства системы автоматического управления установкой. Система оптического контроля толщины напыляемых пленок комплектуется в стандартном варианте интерференционными светофильтрами или (по заказу) монохроматором (0,4-0,8 мкм). Вакуумная система комплектуется высоковакуумным средством откачки - крионасосом КН-320-5, или по заказу другими высоковакуумными средствами. Привод механизма смены свидетелей - ручной. Максимальная электрическая мощность, потребляемая установкой в установившемся режиме не более, кВА – 8 Габаритные размеры и масса установки: длина, мм - 1900; ширина, мм - 1600; высота, мм - 2050; масса, кг - 1300
Показатели надежности установки: | Время непрерывной работы установки не менее | 16 часов. | | Средняя наработка на отказ не менее | 500 ч; | | Средний ресурс не менее | 8 лет; | | Среднее время восстановления работоспособного состояния не более | 6 ч; |  Установка вакуумного магнетронного напыления УВМН Установка предназначена для нанесения двухслойных металлических покрытий на обе стороны плоских деталей из кварцевого стекла методом магнетронного распыления в вакууме с высокой равномерностью толщины. Основные технические данные и характеристики
| Предельное остаточное давление (с использованием жидкого азота) не более, Па, | 1,8 ·10-4. | | Время достижения предельного давления в камере, не более, мин. | 120 | | Количество магнетронов, шт. | 2 | | Диапазон изменения тока магнетронов, А, | 0,01 – 1,5 | | Количество напыляемых материалов, шт., не более | 2 | | Количество загружаемых оправок (Ø25мм) с подложками , шт., не менее | 16 | | Частота вращения карусели, об/мин | 2…10 | | Угол поворота держателей оправок вокруг своей оси после каждого оборота карусели, град | 180 | | Система напуска газа обеспечивает стабилизированный расход аргона, м3/с, не более | 9 10-6 | | Количество заслонок с пневматическим приводом, шт. | 1 | | Количество датчиков толщины и скорости напыления, шт. | 2 |
Система кварцевого контроля толщины и скорости напыления обеспечивает | Индикацию скорости напыления с разрешающей способностью, Å /с | 0,1 | | Диапазон индикации толщины пленки , не менее, (Å) | 0…99999 | | Частота кварцевого резонатора (датчика), МГц | 5-6 |
| Блок «Метакон 513» обеспечивает нагрев в камере и измерение температуры в диапазоне, ˚С, | 25-200 |
Установка обеспечивает проведение: Откачки камеры в полуавтоматическом и автоматическом режимах; Ионной очистки подложек нейтральным пучком - в ручном режиме; Техпроцесса напыления двухслойного покрытия в ручном и полуавтоматическом режимах
| Максимальная электрическая мощность, потребляемая установкой в установившемся режиме, не более, кВА | 6 | | Время непрерывной работы установки не менее, часов | 16 | Габаритные размеры и масса установки: | длина, мм | 1250; | | ширина, мм | 1350; | | высота, мм | 1900 ( 2500 - с поднятым колпаком); | | масса, кг | 900 | Установка поставляется с мишенями из хрома Сr (99,5) и меди Сu (99,9).
|
Каталог товаров 
