ОКБМ-ТО     

 
Главная

ОКБМ-ТО

ОКБМ-ТО

Разработка и изготовление вакуумного технологического оборудования 

Фирма создана сотрудниками отдела по разработке вакуумного напылительного оборудования ОКБМ «ПО КВАРЦ» (входило в МЭП СССР).

Коллектив специалистов разработчиков и изготовителей вакуумного технологического оборудования, средств автоматизации и измерения параметров процесса плодотворно работает много лет.

С 1994 по 2008 год коллектив разработал и внедрил «под ключ» 28 единиц нового и модернизированного вакуумного напылительного оборудования различных типов, из них 10 единиц поставлено на экспорт. В том числе изготовлено 10 установок ионно-лучевого осаждения многослойных оптических покрытий трех типов, из них 3 на экспорт.

Изготовленные нами установки реализуют практически все используемые методы осаждения тонких пленок в вакууме: термический, электроннолучевой, ионно-лучевой, плазменно-дуговой, магнетронный (включая ВЧ).

Отличительной особенностью наших разработок является наличие технологических процессов осаждения многослойных покрытий с высокими параметрами, выполняемых в автоматическом режиме работы.

Мы постоянно работаем над улучшением технических характеристик разработанного нами оборудования.

Основными направлениями работы предприятия являются:

  1. Разработка изготовление и внедрение нового вакуумного технологического оборудования.

Наши последние внедренные разработки(с 2015 г.):

    •  Установка автоматического вакуумного резистивного напыления УВН-74П-3М-01

    •  Участок термообработки металлов в вакууме и среде инертных газов и участок пайк

    • Комплект  технологического оборудования для участка ТВО

    • Установка вакуумного магнетронного напыления

    • Установка термического напыления резистивных сплавов и керметов УВН-71П-3М-01И

    • Установки создания кольцевого He-Ne лазера - 3 шт.
  • Модернизация и ремонт имеющегося у предприятий вакуумного технологического оборудования.

В этом направлении выполненные работы с 2015 года:

    • Доработка установки ПВО-2.

    • Модернизация барабана установки УВН-74П-3М-01.

    • Доработка постов ОП-4.

    • Модернизация установки УВН74П-3М. Установка оснащена системой автоматического управления и безмасляной системой откачки.

    • Ремонт и модернизация постов ПОА, ПОВС-2.

    • Модернизация установки осаждения оптических покрытий УВН ОП. Установка оснащена новой системой управления и контроля оптических покрытий.

  • Разработка технологических процессов осаждения для заказчиков оборудования.

Внедрение разработанного за последние годы оборудования осуществлялось одновременно с разработкой автоматизированных технологических процессов для него. В настоящий момент коллектив сотрудников предприятия занят разработкой и внедрением актуальных промышленных автоматизированных технологических процессов осаждения многослойных покрытий для вновь созданного оборудования. В том числе: 

- осаждение многослойных покрытий различного класса в вакууме.

- осаждение многослойных проводящих покрытий в вакууме.

- осаждение тонких плёнок на основе резистов и керметов в вакууме.

- термовакуумная обработка изделий квантовой электроники.

- ионно-плазменная обработка оптических изделий.