ОКБМ-ТО     

 
Главная arrow Каталог товаров

Каталог товаров
 
 
 
Установка  вакуумного напыления ЛБКЯ 443223002

 Установка вакуумного напыления

ЛБКЯ 443223002

Установка предназначена для нанесения многослойных оптических покрытий методом ионного распыления в вакууме в производстве оптоэлектронных изделий.

Установка обеспечивает проведение цикла напыления покрытия в полуавтоматическом и ручном режимах, с контролем толщины напыления по достижению заданной оптической (h=1/4π) толщины или по времени. 

Основные технические данные и характеристики

Количество подложкодержателей (Ø72мм), на планетарной карусели, штук

3-4*

Количество изделий (Ø25мм),загружаемых на подложкодержатель, шт.

5

Предельное остаточное давление не более, Па

6,7 ·10-5

Время достижения давления 1,3 ·10-3 Па в камере не более, мин.

25

Количество ионных источников, для распыления, штук

1

Максимальная мощность испарителя, не менее, Вт

120

Количество мишеней из распыляемых материалов (Ø =200мм), шт., не более,

2

Частота вращения карусели, об/мин

4…10

Диаметр камеры, мм

540

Количество каналов стабилизированного газонапуска с расходом не более 10-6 м3/с, штук

2

Максимальное количество слоев (h=1/4π) оптических покрытий, напыляемых в одном процессе, не более

50

Количество кварцевых датчиков измерения скорости напыления, шт.

1

Количество сменных свидетелей (Ø25мм) в механизме смены свидетелей системы оптического контроля пропускания

4- 5*

Конструктивные требования.

  • Установка состоит из вакуумного блока и стойки питания и управления.

  • В установке использованы следующие комплектующие зарубежного производства:-шиберный затвор UHV DN(200-250), вводы вращения FRU 040, ионизационный вакуумметр ITR-90, мониторы, контроллеры и периферийные устройства системы автоматического управления установкой.

  • Система оптического контроля толщины напыляемых пленок комплектуется

  • в стандартном варианте интерференционными светофильтрами или (по заказу) монохроматором (0,4-0,8 мкм).

  • Вакуумная система комплектуется высоковакуумным средством откачки - крионасосом КН-320-5, или по заказу другими высоковакуумными средствами.

  • Привод механизма смены свидетелей - ручной.

  • Максимальная электрическая мощность, потребляемая установкой

  • в установившемся режиме не более, кВА – 8

  • Габаритные размеры и масса установки:

  • длина, мм - 1900; ширина, мм - 1600; высота, мм - 2050; масса, кг - 1300

Показатели надежности установки:

Время непрерывной работы установки не менее

16 часов.

Средняя наработка на отказ не менее

500 ч;

Средний ресурс не менее

8 лет;

Среднее время восстановления работоспособного состояния не более

6 ч;

 Установка вакуумного напыления УВМН

Установка вакуумного магнетронного напыления УВМН

Установка предназначена для нанесения двухслойных металлических покрытий на обе стороны плоских деталей из кварцевого стекла методом магнетронного распыления в вакууме с высокой равномерностью толщины.

 

 

Основные технические данные и характеристики

Предельное остаточное давление (с использованием жидкого азота) не более, Па,

1,8 ·10-4.

Время достижения предельного давления в камере, не более, мин.

120

Количество магнетронов, шт.

2

Диапазон изменения тока магнетронов, А,

0,01 – 1,5

Количество напыляемых материалов, шт., не более

2

Количество загружаемых оправок (Ø25мм) с подложками , шт., не менее

16

Частота вращения карусели, об/мин

2…10

Угол поворота держателей оправок вокруг своей оси после каждого оборота карусели, град

180

Система напуска газа обеспечивает стабилизированный расход аргона, м3/с, не более

9 10-6

Количество заслонок с пневматическим приводом, шт.

1

Количество датчиков толщины и скорости напыления, шт.

2


Система кварцевого контроля толщины и скорости напыления обеспечивает

Индикацию скорости напыления с разрешающей способностью, Å /с

0,1

Диапазон индикации толщины пленки , не менее, (Å)

0…99999

Частота кварцевого резонатора (датчика), МГц

5-6


Блок «Метакон 513» обеспечивает нагрев в камере и измерение температуры в диапазоне, ˚С,

25-200


Установка обеспечивает проведение:

  • Откачки камеры в полуавтоматическом и автоматическом режимах;

  • Ионной очистки подложек нейтральным пучком - в ручном режиме;

  • Техпроцесса напыления двухслойного покрытия в ручном и полуавтоматическом режимах

Максимальная электрическая мощность, потребляемая установкой в установившемся режиме, не более, кВА

6

Время непрерывной работы установки не менее, часов

16

Габаритные размеры и масса установки:

длина, мм

1250;

ширина, мм

1350;

высота, мм

1900 ( 2500 - с поднятым колпаком);

масса, кг

900

Установка поставляется с мишенями из хрома Сr (99,5) и меди Сu (99,9).