ОКБМ-ТОРазработка и изготовление вакуумного технологического оборудования Фирма создана сотрудниками отдела по разработке вакуумного напылительного оборудования ОКБМ «ПО КВАРЦ» (входило в МЭП СССР). Коллектив специалистов разработчиков и изготовителей вакуумного технологического оборудования, средств автоматизации и измерения параметров процесса плодотворно работает много лет. С 1998 по 2019 год коллектив разработал и внедрил «под ключ» 58 единиц нового и модернизированного вакуумного напылительного оборудования различных типов, из них 10 единиц поставлено на экспорт. В том числе изготовлено 10 установок ионно-лучевого осаждения многослойных оптических покрытий трех типов, из них 3 на экспорт.
Изготовленные нами установки реализуют практически все используемые методы осаждения тонких пленок в вакууме: термический, электроннолучевой, ионно-лучевой, плазменно-дуговой, магнетронный (включая ВЧ).
Отличительной особенностью наших разработок является наличие технологических процессов осаждения многослойных покрытий с высокими параметрами, выполняемых в автоматическом режиме работы. Мы постоянно работаем над улучшением технических характеристик разработанного нами оборудования.
Основными направлениями работы предприятия являются: Разработка изготовление и внедрение нового вакуумного технологического оборудования. Наши последние внедренные разработки(с 2015 г.): Установка автоматического вакуумного резистивного напыления УВН-74П-3М-01 Участок термообработки металлов в вакууме и среде инертных газов и участок пайк Комплект технологического оборудования для участка ТВО Установка вакуумного магнетронного напыления
Установка термического напыления резистивных сплавов и керметов УВН-71П-3М-01И - Установки создания кольцевого He-Ne лазера - 3 шт.
В этом направлении выполненные работы с 2015 года: Доработка установки ПВО-2. Модернизация барабана установки УВН-74П-3М-01. Доработка постов ОП-4. Модернизация установки УВН74П-3М. Установка оснащена системой автоматического управления и безмасляной системой откачки. Ремонт и модернизация постов ПОА, ПОВС-2. Модернизация установки осаждения оптических покрытий УВН ОП. Установка оснащена новой системой управления и контроля оптических покрытий.
Внедрение разработанного за последние годы оборудования осуществлялось одновременно с разработкой автоматизированных технологических процессов для него. В настоящий момент коллектив сотрудников предприятия занят разработкой и внедрением актуальных промышленных автоматизированных технологических процессов осаждения многослойных покрытий для вновь созданного оборудования. В том числе: - осаждение многослойных покрытий различного класса в вакууме. - осаждение многослойных проводящих покрытий в вакууме. - осаждение тонких плёнок на основе резистов и керметов в вакууме.
- термовакуумная обработка изделий квантовой электроники. - ионно-плазменная обработка оптических изделий.
|